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防靜電知識 Professional Information

無塵室定義

信息來源:本站 發布時間:2015-04-11


(一) 無塵室(CLEAN ROOM)之定義
     『將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度,控制于一定范圍內之空間』。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及微粒子(μm),且指一般空氣清凈機無法完全清除之灰塵。
無塵室一般分為電子、精密工業用Industrial Clean Room(=ICR);及需控制微生物濃度等制藥、食品產業用Biological Clean Room(=BCR)。
(二)聯邦規格(U.S. Federal standard 209b)等級
      現今一般多奉行美國所制定的聯邦規格(U.S. Federal standard 209b), BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格(美國航空總署 5340.2規格)。
其Fed.std清潔度的表示法為:1ft3(立方英尺)空氣中, 含有多少個0.5μ(micro)以上的微粒子, 及稱為「等級○○」。例如:空氣中含有10個0.5μ(micro)以下時, 標示為「等級10」。而自然界大氣中通常含有300,000~3,000,000個微粒子。
(三)在JIS標準下,無塵室之清潔度,共分為8個等級 
      一般清潔度是指空氣的清潔等級,分為等級1、2…….8,8階段。在1立方公尺的空氣中,粒徑0.1微米(1微米=千分之1毫米)之塵埃有多少,是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中,0.1微米的灰塵若是在10個以下時為等級1;百個以下是100=102是等級2;千個以下時是1000=103等級3,以此類推。
      邁向21世紀,最先端產業的發展,加速了產業構造的變革,無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型和精密化,塵埃和溫濕度的變化對商品的完成度亦造成極大的危害,導致品質低下。伴隨商品的高品質要求,環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中使用防塵材料及商品都顯得格外重要。

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